马尔测高仪的进度校准方式

1. 校准前准备

• 环境条件：在温度、湿度、振动受控的计量室内进行（通常温度20±1℃，湿度<60%）。

• 仪器预热：开机预热30分钟以上，使系统稳定。

• 清洁检查：检查测头、测量杆、工作台面是否清洁无损伤。

• 标准器准备：

• 量块（如0级或K级）：用于高度示值校准。

• 平面平晶：用于检查测头平面度。

• 激光干涉仪（高精度校准可选）。

2. 校准项目与方法

（1）零位校准

• 在基准平面（如大理石平台）上，使用测高仪测头接触基准面，设置零点。

• 重复多次，检查零位重复性。

（2）示值误差校准

• 步距法：用量块作为标准高度，从低到高选择多个校准点（如10mm、50mm、100mm、200mm等）。

• 将量块置于平台，测高仪测头接触量块上表面，记录示值。

• 计算公式：
  $\text{误差}=\text{测高仪示值}-\text{量块标称值}$

• 全程校准至少选5-10个点，覆盖测量范围。

（3）重复性校准

• 在同一高度（如用量块）重复测量10次，计算标准偏差。

（4）测头平行度与垂直度检查

• 使用角尺或自准直仪检查测杆与平台垂直度。

• 用平面平晶检查测头测量面的平面度。

3. 数据处理与判定

• 根据校准数据计算：

• 示值误差：是否在允许范围内（参考仪器规格书，如±(1.5+L/100) μm）。

• 重复性：通常要求≤1/3允许误差。

• 生成校准记录或证书，必要时进行修正。

4. 注意事项

• 操作时轻拿轻放，避免碰撞测头。

• 量块需恒温以减少热膨胀误差。

• 电子测高仪需注意电子细分误差，定期校准内置传感器。

• 气浮式测高仪需检查气源稳定性。

5. 标准依据

• 国内：JJF（机械）或JJG（计量检定规程）。

• 国际：ISO 10360系列（坐标测量机标准，部分适用于测高仪）。

• 厂家标准：如马尔（Mahr）提供的校准规范。

如果需要更具体的操作参数或针对特定型号（如Mahr Millitast、Maxum等），请提供仪器型号，以便进一步说明